但可惜。

虽然林本艰会说中文,但在这样的全球性研讨会上,演讲用的还是英语。

与此前一样,陈宇也感觉在听天书。

听了好一会,陈宇只听到干式,湿式什么的。

“张总,那个林本艰说的干式和湿式是什么意思?”

“说的是生产光刻机的一种技术工艺,目前我们大部分普遍用的是干式光刻机生产工艺。也就是用空气作为镜头与晶圆间的介质,让光罩上的图形在晶圆上成象。不过,这个林本艰觉得,还可以用一种湿式工艺。”

“什么是湿式?”

“他说的这个湿式名字叫做浸润式,与湿式差不多。但用的介质却不一样,我们一般现在用的是空气,而林本艰提成了用水作为浸润式的介质。”

“水?”

听到水这个词,陈宇有些激动。

记得前世,其实在开始之初,荷兰asl与德国,与日本几大光刻机公司实力都差不多。

为什么后来asl却是一统天下,完全与这一些光刻机公司选择的路线有关。

当时日本,德国,包括美国这一些光刻机公司路线选择出错。

而asl却是花重金开辟了另一条光刻机生产工艺。

这个工艺,就涉及到水,也就是林本艰现在提到的浸润式。

“您觉得他的这个工艺有没有前途?”